Schrägbeleuchtung (englisch off-axis illumination) – seltener Schrägbelichtung oder außeraxiale Belichtung genannt – bezeichnet in der Halbleitertechnik...
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Axis Illumination, im Fachgebrauch übliches englisches Synonym für Schrägbeleuchtung Office of American Innovation, ein von US-Präsident Trump gegründetes...
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RETs). Dazu zählen Techniken zur Optimierung der Belichtung, wie Schrägbeleuchtung (engl. off-axis illumination, OAI), Belichtung mit polarisiertem Licht...
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und deutlich systematischere Bestimmung der optischen Auflösung. Schrägbeleuchtung Hermann Strass: Das Abbe-Limit überwinden. In: GIT Labor-Fachzeitschrift...
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werden. Daher sind auch die unterschiedlichen Beleuchtungstechniken (Schrägbeleuchtung etc.), sowie weitere Maskenoptimierungstechniken zu erwähnen. Darüber...
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Einführung diverser Spezialtechniken, wie der Immersionslithografie, Schrägbeleuchtung oder Mehrfachstrukturierung. Diese Entwicklungen führten dazu, dass...
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Argonfluorid-Excimerlasern (Wellenlänge: 193 nm) und weiteren Feinheiten wie Schrägbeleuchtung oder Mehrfachstrukturierung konnte die erwartete Grenze der Lithografie...
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