Матѳеи, Есѳеръ, Іюдиѳъ, Руѳь are to be read with [ф], but the words аритметика, темианъ, Їюдитъ appear in some places, which should be read with ⟨т⟩...

алгоритм, анатема, антологія, антропологія, аптека, астма, аритметика, атеїзм, бібліотека, аритметика, етер, катедра, католичний, логаритм, маратон, математика...

variation is possible, for example: ана́фема and ана́тема, арифметика and аритметика, дифіра́мб and дитира́мб, ефі́р and ете́р, ка́федра and кате́дра, логари́фм...