Sprühpyrolyse – Wikipedia

Die Sprühpyrolyse ist eine Synthesestrategie in der anorganischen Chemie. Hierbei wird im Rahmen des Sol-Gel-Verfahrens ein Substrat durch einen Zerstäuber auf eine beheizte Oberfläche gesprüht und reagiert dort mit selbiger. Mit diesem Verfahren ist es möglich, dünne Schichten auf ebenen Flächen zu fixieren.^[1]

Die Sprühpyrolyse wurde 1966 von Chamberlin und Skarman erfunden, um Cadmiumsulfid und andere Sulfide bzw. Selenide als dünne Schichten darstellen zu können. Seit 1966 hat sich die Dünnschichtchemie rapide weiterentwickelt.^[1]

1. ↑ ^{a b} Joy Georg und Twig Georg (Hrsg.): Preparation of Thin Films. 1. Auflage. Marcel Dekker Inc, 1992, ISBN 978-0-88167-764-5, S. 340 ff.