Плазменная обработка — Википедия
Плазменная обработка — процесс обработки материалов при помощи низкотемпературной плазмы, генерируемой дуговыми или высокочастотными плазмотронами, с целью изменения формы, размеров, структуры обрабатываемого материала или состояния его поверхностного слоя. Разновидностями плазменной обработки являются: разделительная и поверхностная резка, нанесение покрытий, напыление, сварка[1].
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/5/56/Cnc_plasma_cutting.jpg/220px-Cnc_plasma_cutting.jpg)
Подвидами плазменной обработки являются:
- Плазменная активация;
- Плазменно-иммерсионная ионная имплантация[англ.]
- Плазменная модификация;
- Плазменное травление[англ.];
- Плазменное напыление;
- Плазменная наплавка;
- Плазменная резка;
- Плазменная полимеризация[англ.];
- Плазменная функционализация;
- Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы;
- Финишное плазменное упрочнение.
Галерея
[править | править код]- Изготовление отверстий плазмою(плазменное сверление)
- Плазменное напыление в вакууме
- Схема установки плазменного сваривания: 1 — Плазмообразующий газ. 2 — Защитная насадка. 3 — Струя. 4 — Електрод. 5 — Насадка сужения. 6 — Электрическая дуга.
- Оборудование плазменной поверхностной обработки (очищение)
Примечания
[править | править код]- ↑ Ковшов А.Н. Технология машиностроения. - М., Машиностроение, 1987. - c. 290
Литература
[править | править код]- Соснин Н. А., Ермаков С. А., Тополянский П. А. Плазменные технологии. Руководство для инженеров. Изд-во Политехнического ун-та. СПб.: 2013. - 406 с.
- Ивановский Г. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов. — М.: Радио и связь, 1986.
- Д.Толливер, Р.Новицки, Д.Хесс и др.; Под ред. Н.Айнспрука, Д.Брауна. Плазменная технология в производстве СБИС. — М.: Мир, 1987. — 469 с.
- Данилин Б. С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. — М.: Энергоатомиздат, 1987. — 263 с.
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. — М.: Энергоатомиздат, 1989. — 328 с.
- Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. — М.: Высш. шк., 1988. — 255 с. — ISBN 5-06-001480-0.
- Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии. — М.: Машиностроение, 1989. — 56 с. — ISBN 5-217-00726-5.
![]() | В статье не хватает ссылок на источники (см. рекомендации по поиску). |
![]() | В другом языковом разделе есть более полная статья Плазмове оброблення (укр.). |