Xenondifluorid – Wikipedia

	Xenondifluorid
Systematiskt namn	Xenondifluorid
Molmassa	169,29 g/mol
Utseende	vit, fast
CAS-nummer	13709-36-9
Egenskaper
Densitet	4,32 g/cm³
Löslighet (vatten)	25 g/l
Smältpunkt	128,6 °C
Faror
Huvudfara	Oxidationsmedel, frätande, giftigt
	SI-enheter & STP används om ej annat angivits

Xenondifluorid (XeF₂) är ett vitt, kristallint ämne som används som fluoreringsmedel.^[1]

Egenskaper

I likhet med andra xenonfluorider har ämnet en god fluoreringsförmåga samt hög smältpunkt i förhållande till flertalet andra föreningar av xenon. Ämnet utmärker sig genom sin förmåga att lösas i vatten, då övriga xenonfluorider är olösliga.^[2]

Användning

Xenondifluorid används för att etsa kisel, vilket möjliggör tillverkning av integrerade kretsar och andra elektroniska komponenter. Processen kan beskrivas genom följande reaktionsformel:^[3]

${\ce {2XeF2 + Si -> 2Xe(g) + SiF4(g)}}$

Referenser

^ ”xenon - Uppslagsverk - NE.se”. www.ne.se. https://www.ne.se/uppslagsverk/encyklopedi/l%C3%A5ng/xenon. Läst 7 januari 2024.
^ PubChem. ”Xenon difluoride” (på engelska). pubchem.ncbi.nlm.nih.gov. https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/83674. Läst 7 januari 2024.
^ ”Usage Policies Notebook for Xenon Difluoride (XeF2) Isotropic Si Etch”. University of California, Irvine. https://www.inrf.uci.edu/wordpress/wp-content/uploads/sop-dry-xef2-etch-notebook.pdf. Läst 8 januari 2024.

[1] ”xenon - Uppslagsverk - NE.se”. www.ne.se. https://www.ne.se/uppslagsverk/encyklopedi/l%C3%A5ng/xenon. Läst 7 januari 2024.

[2] PubChem. ”Xenon difluoride” (på engelska). pubchem.ncbi.nlm.nih.gov. https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/83674. Läst 7 januari 2024.

[3] ”Usage Policies Notebook for Xenon Difluoride (XeF2) Isotropic Si Etch”. University of California, Irvine. https://www.inrf.uci.edu/wordpress/wp-content/uploads/sop-dry-xef2-etch-notebook.pdf. Läst 8 januari 2024.

[1]

[2]

[3]